分子束外延（MBE）

電子束曝光機 晶圓級制造

自動紫外光刻機

手動紫外光刻機

自動勻膠機

自動顯影機

HMDS烘箱

手動勻膠機

反應離子刻蝕RIE

電感耦合等離子體刻蝕ICP

電子束蒸發(fā)鍍膜

磁控濺射sputter

等離子增強化學氣相沉積PECVD

有機清洗機

無機清洗機

臺階儀

膜厚儀

快速退火爐

引線機

減薄拋光機